。九十年代中期,中溫化學氣相沉積(mt-cvd)新技術(shù)的出現(xiàn)使cvd技術(shù)發(fā)生了革命性變革
。mt-cvd技術(shù)是以含c/n的有機物乙腈(ch3cn)作為主要反應(yīng)氣體、與ticl4
、h2
、n2在700~900℃下產(chǎn)生分解、化學反應(yīng)生成ticn的新工藝
。采用mt-cvd技術(shù)可獲得致密纖維狀結(jié)晶形態(tài)的涂層
,涂層厚度可達8~10μm。這種涂層結(jié)構(gòu)具有極高的耐磨性
、抗熱震性及韌性,并可通過高溫化學氣相沉積(ht-cvd)工藝在刀片表面沉積al2o3
、tin等抗高溫氧化性能好
、與被加工材料親和力小
、自潤滑性能好的材料。mt-cvd涂層刀片適于在高速
、高溫
、大負荷、干式切削條件下使用
,其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。